1. 工艺适配指南

实验环境耐受性表现适用科研领域
强酸/强碱液体100%贴合,边缘无渗入剥离电化学传感器、微流控芯片
超声波清洗
二维材料薄膜不脱落器件加工、光刻剥离(Lift-off)
宽电压扫描宽扫描电压耐受性,漏电流低场效应晶体管(FET)研究


2. 常见问题

Q: 你们的封端处理会改变SiO2的电学绝缘性吗?

A: 不会。封端工艺仅作用于表面原子层,不改变 bulk 层的介电常数,确保Gate控制能力不受影响。


Q: 是否支持定制化的氧化层厚度?

A: 除了标准的 90/280nm,我们支持在 50nm-1000nm 范围内进行精密定制。


Q: 该晶圆是否兼容电子束曝光(EBL)工艺?

A: 完全兼容。表面电荷分布均匀,有助于提高纳米级图案的良率。